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  • 產品名稱: YJ-22B5L╱PA雙面研磨/拋光機

  本機器主要用于硅片、砷化鎵片、陶瓷片、石英晶體及其它半導體材料的雙面高精度研磨或拋光,也適用于其它金屬、非金屬、光學玻璃等硬、脆、薄材料的雙面高精度研磨或拋光。

  機器采用四電機驅動,下盤、上盤、內齒圈和太陽輪分別由電機單獨驅動。
  機器整體結構緊湊,運行平穩,有效地縮短各傳動軸的長度,增加機器的機械剛度。
  內齒圈、太陽輪同步升降并采用點動操作方式。
  上盤裝置增加機械的安全裝置,在擺片、維修等狀態下不會因突然故障而下降,增加了安全性。
  通過改變內齒圈、太陽輪的速度,調整實現游星輪的正、反轉。
 

項目

規格

上(下)盤尺寸

φ1458×φ498×50(mm)

工件厚度

最大:40(mm)  最小:0.6(mm)

工件直徑

最大:470(mm)

下盤轉速

0~50(rpm)

游星輪數量

5

游星輪參數

Z=184    Mn=3

上盤壓力范圍

20~780(Kg)

電源/耗電量

3相-380V/34KVA
3 phase-380V/38KVA

氣源/耗氣量

0.5(Mpa)/30(L/min)

主機尺寸

2950×2000×2950(mm)

機器重量

~9000(Kg)

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